Procesy technologiczne produkcji ukladow scalonych K25.13 | |||||||||||||||||
Wykłady dotyczą organizacji cleanroom'u, a także poszczególnych operacji technologicznych takich jak wytwarzanie monokryształów, epitaksja, litografia, implantacja jonów, nakładanie cienkich warstw z fazy gazowej, wytrawianie, nakładanie metalizacji, packaging, testowanie. Wykład ilustruje jak pojedyncze operacje technologiczne połączone są w jednolity proces wytwarzania układów scalonych. Ponadto przedstawione są zasady działania oraz technologie wytwarzania scalonych mikroczujników różnych wielkości fizycznych; takich jak temperatura, promieniowanie, ciśnienie, przyśpieszenie. W szczególności omówiony jest wpływ parametrów procesów technologicznych i geometrii otrzymywanych struktur na właściwości oraz parametry użytkowe mikroczujników.
W czasie laboratorium studenci mają możliwość praktycznego zaznajomienia się z omawianymi
Rozklad domieszek w strukturze układu.
Rozkład pola elektrycznego w tranzystorze MOS.
Grzebieniowe akcelerometry pojemnościowe.
Scalony czujnik temperatury PTAT. |
|||||||||||||||||
Opiekun | |||||||||||||||||
Realizatorzy | |||||||||||||||||
Przedmioty |
|