Wykłady dotyczą organizacji cleanroom'u, a także poszczególnych operacji technologicznych takich jak wytwarzanie monokryształów, epitaksja, litografia, implantacja jonów, nakładanie cienkich warstw z fazy gazowej, wytrawianie, nakładanie metalizacji, packaging, testowanie. Wykład ilustruje jak pojedyncze operacje technologiczne połączone są w jednolity proces wytwarzania układów scalonych. Ponadto przedstawione są zasady działania oraz technologie wytwarzania scalonych mikroczujników różnych wielkości fizycznych; takich jak temperatura, promieniowanie, ciśnienie, przyśpieszenie. W szczególności omówiony jest wpływ parametrów procesów technologicznych i geometrii otrzymywanych struktur na właściwości oraz parametry użytkowe mikroczujników.

W czasie laboratorium studenci mają możliwość praktycznego zaznajomienia się z omawianymi
na wykładach podstawowymi procesami technologicznymi, takimi jak: implantacja jonów, dyfuzja domieszek, epitaksja, wyżarzanie, wytrawianie. Poprzez symulacje przy użyciu profesjonalnego symulatora procesów technologicznych studenci uczą się jak kontrolować ww. procesy i badają wpływ ich parametrów (czas, ciśnienie, temperatura, itp.) na uzyskiwane profile domieszkowania oraz charakterystyki elektryczne przyrządów. Ponadto studenci przeprowadzają wielodomenowe symulacje scalonych mikroczujników różnych wielkości fizycznych poznając ich działanie oraz wykonują pomiary charakterystyk wybranych, komercyjnych, scalonych mikroczujników.

Rozklad domieszek w strukturze układu.

Rozkład pola elektrycznego w tranzystorze MOS.

Grzebieniowe akcelerometry pojemnościowe.

Scalony czujnik temperatury PTAT.